依据芯思维和芯思维研究院的调研，到2021年第四季度，我国内地12英寸、8英寸和6英寸及以下的晶圆制作线条（不含纯MEMS生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线年第四季度，现已投产的12英寸晶圆制作线万片（其间外资公司装机月产能超越61万片）；现已投产的8英寸晶圆制作线英寸及以下晶圆制作线英寸晶圆产能。
到2021年第四季度末在建或规划签约的12英寸晶圆制作线万片；而在建或规划签约的8英寸晶圆制作线条。
到2021年第四季度，12英寸装机产能散布按产品类型来看，最大的是来自存储器芯片，装机月产能84万片（其间外资公司装机月产能为55万片）；第二是逻辑产品，装机月产能28万片；第三是模仿功率器材产品，装机月产能24万片。
现在，我国内地建造12英寸晶圆制作生产线英寸装机产能散布按城市排名：无锡、西安、武汉、合肥、北京位居前五位；第六位到第十位依次是上海、大连、厦门、广州、南京。
8英寸装机产能散布8英寸装机产能散布按城市排名：上海、无锡、天津、姑苏、杭州位居前五位；第六位到第十位依次是绍兴、成都、重庆、深圳、北京。
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